產品與方案

聚焦科技之美

立足光電行業,以光學、機械、電子三大核心技術的組合為基礎

裂像顯微鏡—MMS-ZFA 2010

 >產品與方案>智能光電非接觸測量儀與傳感器>激光位移/傾角傳感器

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       MMS-ZFA 2010測量顯微鏡是我司獨立開發的,是具有裂像功能的一款新型顯微鏡。其以影像法測量原理為基礎,采用光學焦點位置檢測方式進行非接觸高低差測量。除了觀察測量點的表面狀態外,還能對高度、深度、高低差等進行精密測量。本儀器還具有明暗場,偏光的觀察功能,所以特別適合對極細微的間隙高低差、夾雜物、突起、細微劃痕進行觀察。
 

本產品適用于硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS激光加工、晶片測試、半導體材料、線束加工蝕刻、液晶電池蓋、導線框架等產品的檢查觀察。


也適用于幾何形狀的顯微觀測,并且有三維的計量功能。因此是精密零件,集成電路,半導體芯片,光伏電池,光學材料等行業的必備儀器。


軟件界面:


 
 型  號

 MMS-ZFA 2010測量顯微鏡

 測量范圍

 200*100*50mm

 精度(單位:mm)

 XY單軸:(3 + 5L/1000)μm

 Z軸(@放大倍率 20X, 50X) :(2.5 + L/100)μm

 解析度

 0.0005 mm

 光   源

 1、同軸光:白色LED冷光源  可變孔徑光闌,中心可調;可變視場光闌,中心可調;

 2、輪廓光:白色LED輪廓照明

鏡頭特點 

 5X (WD=10.8mm),10X(WD=10mm),20X(WD=11.1mm),50X(WD=7.8mm)

三通觀察筒

 25°傾斜鉸鏈式正像三通觀察筒

轉換器

 內定位5孔轉換器

起偏鏡插板

 固定式起偏鏡插板(反射用)

檢偏鏡插板

 360°旋轉式檢偏鏡插板(反射用)

影像攝取系統

 1/3″彩色USB-CCD相機 逐行掃描,日本SenTech

儀器結構

1、鑄鐵基座保證整體穩定性,水平玻璃工作臺

2、無間隙絲桿載物臺保證測量精度

3、先進的裂像輔助對焦功能(FA),保證了高精度的Z軸測量結果

4、XYZ三軸均配有高精度光柵尺

5、機器平臺配有水平襯墊

測量軟件

MeasurE 2000

銷售聯系:

舜宇智能光學有限公司
地址:浙江省余姚市世南西路1918號
郵編:315400
聯系人:朱經理
電話:0574-62554056
手機:133-8663-6006
郵件:fgzhu@sunnyoptical.com

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